執(zhí)行元件是能量變換元件，其目的是控制機(jī)械執(zhí)行機(jī)構(gòu)運(yùn)動(dòng)。機(jī)電一體化伺服系統(tǒng)要求執(zhí)行元件具有轉(zhuǎn)動(dòng)慣量小，輸出動(dòng)力大，便于控制，可靠性高和安裝維護(hù)簡(jiǎn)便等特點(diǎn)。根據(jù)使用能量的不同，可以將執(zhí)行元件分為電磁式、液壓式和氣壓式等幾種類型。
DD馬達(dá)適用于各種產(chǎn)業(yè)裝置機(jī)械，特別是半導(dǎo)體制造檢查裝置、液晶制造裝置，如:
1、應(yīng)用于高性能膠片、充電電池；
2、應(yīng)用于LED檢測(cè)系統(tǒng)；
3、手機(jī)面板貼膜機(jī)；
4、應(yīng)用于太陽能電池設(shè)備；
5、應(yīng)用于半導(dǎo)體IC測(cè)試機(jī)；
6、半導(dǎo)體劃片機(jī)；
7、應(yīng)用于LCD研磨機(jī)；
8、LCD行業(yè)彩色濾光片鍍膜機(jī)；
9、光媒體CVD/PVD濺射機(jī)；
10、科研大型天體望遠(yuǎn)鏡；
11、汽車行業(yè)轉(zhuǎn)向測(cè)試；
12、醫(yī)療行業(yè)血糖值試驗(yàn)機(jī)；
13、伺服壓力機(jī)；
14、光媒體CVD/PVD濺射機(jī)。

因dd馬達(dá)輸出扭矩大，故又稱力矩電機(jī)。不像傳統(tǒng)電動(dòng)機(jī)，電動(dòng)機(jī)的強(qiáng)大轉(zhuǎn)矩使它直接與運(yùn)動(dòng)裝置相連，從而消除了對(duì)減速器、齒輪箱和皮帶輪等聯(lián)接機(jī)構(gòu)的需要，因而被稱為直驅(qū)動(dòng)電機(jī)。另外，該電機(jī)配有高分辨率編碼器，可實(shí)現(xiàn)比普通伺服器更高的精度。并通過直接聯(lián)接的方式，減少機(jī)械結(jié)構(gòu)帶來的定位誤差，保證加工精度。此外，在使用過程中，由于機(jī)械結(jié)構(gòu)的摩擦和噪聲而引起的尺寸誤差也大大降低。

dd馬達(dá)特點(diǎn)及優(yōu)點(diǎn)：
(1)不需要回原點(diǎn)：使用編碼器在不需要原點(diǎn)的情況下就可以確定當(dāng)前位置。
(2)高精度：每圈可以分為2個(gè)脈沖，20/24的脈沖，定位的精度可以小于等于/-30弧秒。
(3)高扭矩：有限體積內(nèi)高扭矩輸出，能以高轉(zhuǎn)速驅(qū)動(dòng)大負(fù)荷。
(4)高剛性：徑向和軸向負(fù)荷能力大、靜負(fù)荷大的交叉軸承。
(5)不需要維護(hù)：不需要額外的電機(jī)維護(hù)工作，例如添加潤(rùn)滑油。
(6)安裝容易：不需要使用減速機(jī)、滑輪、齒輪等中間配件，可直接裝載，減少了部件安裝調(diào)試的時(shí)間。
(7)低噪音：不需要中間連接器直接安裝負(fù)載，因此可減少使用過程中的大量噪音。
(8)快速響應(yīng)：直接安裝負(fù)載，不需要中間連接器，響應(yīng)速度快，可在較短的時(shí)間內(nèi)設(shè)定好的精度。

執(zhí)行元件的種類及特點(diǎn)：
根據(jù)使用能量的不同，可以將執(zhí)行元件分為電磁式、液壓式和氣壓式等幾種類型。
電磁式是將電能變成電磁力，并用該電磁力驅(qū)動(dòng)運(yùn)行機(jī)構(gòu)運(yùn)動(dòng)。
液壓式是先將電能變換為液壓能并用電磁閥改變壓力油的流向，從而使液壓執(zhí)行元件驅(qū)動(dòng)運(yùn)行機(jī)構(gòu)運(yùn)動(dòng)。
氣壓式與液壓式的原理相同，只是將介質(zhì)由油改為氣體而已。其他執(zhí)行元件與使用材料有關(guān)，如使用雙金屬片、形狀記憶合金或壓電元件。
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