執(zhí)行元件是能量變換元件，其目的是控制機械執(zhí)行機構運動。機電一體化伺服系統(tǒng)要求執(zhí)行元件具有轉動慣量小，輸出動力大，便于控制，可靠性高和安裝維護簡便等特點。根據使用能量的不同，可以將執(zhí)行元件分為電磁式、液壓式和氣壓式等幾種類型。
DD馬達適用于各種產業(yè)裝置機械，特別是半導體制造檢查裝置、液晶制造裝置，如:
1、應用于高性能膠片、充電電池；
2、應用于LED檢測系統(tǒng)；
3、手機面板貼膜機；
4、應用于太陽能電池設備；
5、應用于半導體IC測試機；
6、半導體劃片機；
7、應用于LCD研磨機；
8、LCD行業(yè)彩色濾光片鍍膜機；
9、光媒體CVD/PVD濺射機；
10、科研大型天體望遠鏡；
11、汽車行業(yè)轉向測試；
12、醫(yī)療行業(yè)血糖值試驗機；
13、伺服壓力機；
14、光媒體CVD/PVD濺射機。

執(zhí)行元件的種類及特點：
根據使用能量的不同，可以將執(zhí)行元件分為電磁式、液壓式和氣壓式等幾種類型。
電磁式是將電能變成電磁力，并用該電磁力驅動運行機構運動。
液壓式是先將電能變換為液壓能并用電磁閥改變壓力油的流向，從而使液壓執(zhí)行元件驅動運行機構運動。
氣壓式與液壓式的原理相同，只是將介質由油改為氣體而已。其他執(zhí)行元件與使用材料有關，如使用雙金屬片、形狀記憶合金或壓電元件。

DD馬達特點：
1、間隙誤差被消除。
普通的電機由于有減速機、聯(lián)軸器、齒輪、皮帶或絲杠等中間傳動環(huán)節(jié)，就一定會存在間隙誤差，而且長時間使用會間隙誤差越來越大。DD馬達正因為沒有中間傳動部件，由于DD直接驅動的安裝方式，誤差被減為較少；而且它的伺服特性也可以隨時修正誤差，達到理想的控制精度。
2、高剛性，結構緊湊，使用效率高。
DD馬達的剛性很強，與負載結合后特性很硬，對于其驅動器要求更高。新型的DD馬達驅動器可以提供在線增益調試和共振濾波。馬達中空特別設計不但減輕了自身慣量，也給客戶提供了更多的安裝形式。組合后的機械結構會更加緊湊，使用效率比較其他方式高。

因dd馬達輸出扭矩大，故又稱力矩電機。不像傳統(tǒng)電動機，電動機的強大轉矩使它直接與運動裝置相連，從而消除了對減速器、齒輪箱和皮帶輪等聯(lián)接機構的需要，因而被稱為直驅動電機。另外，該電機配有高分辨率編碼器，可實現比普通伺服器更高的精度。并通過直接聯(lián)接的方式，減少機械結構帶來的定位誤差，保證加工精度。此外，在使用過程中，由于機械結構的摩擦和噪聲而引起的尺寸誤差也大大降低。
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